气体流量波动

为了安全起见，关闭氢气管道或氢气钢瓶总阀、关闭氢气减压阀，关闭氢气入口球阀后，拆卸氢气管，将氮气管接入系统氢气入口处，打开氮气管路阀开关，将入口减压阀调制0.5MPa，将出口背压阀设置0.3MPa，关闭气液

分离器液位调节阀，设定流量计流量为50sccm，打开氮气入口球阀，查看背压阀压力值，是否达到0.2-0.3MPa，当达到设定压力值后，观察气路流量控制器流量值波动，波动大于设定流量值5%，流量控制器控制不稳现象。

为了安全，在测试流量时，请用氮气检测，避免氢气泄漏造成危险。

需要用捡漏液检测气路接头是否有漏气现象，如发现有漏气现象，请用附件箱的10-12呆扳手或活扳手将接头拧紧，拧紧后用捡漏液重复检测是否漏气。

同样方法检测氮气流量控制器是否有波动，如仍存在同样波动，则说明气体流量控制器电器系统不稳定，请与技术工程师联系。

如另外一路流量控制器稳定控制流量，这出现不稳定流量控制器存在进入杂质或进入水气可能性，将流量设置为流量控制器最大流量值，冲洗流量控制器，15-20分钟，观察问题是否有所改善，如仍无明显改善，请与技术工程师联系。

气体流量大于设定流量值

观察气体流量值大于设定流量值超过5%出现此现象，是忽略了入口压力与出口压力差在0.5MPa以内。有时会错误认为，

只要将出口压力设置到一定值，如设定到1MPa，入口压力只要不高压1.5MPa即可，但有时由于某些其它原因，导致虽然出口背压阀压力设置了1MPa，但实际并没有达到1MPa，如仅达到了0.5MPa，而入口压力设置为1.5MPa，出入口压差大于0.5MPa，就会出现气体实际流量大于设定流量问题。在使用时需要特殊加以注意。

检测入口减压阀压力值与出口背压阀压力值差不得超过0.5MPa，如压差超过0.5MPa，会出现气体实际流量值大于设定流量值问题，需要将入口压力减小或将出口背压阀压力值加大，使之出口与

入口压差小于0.5MPa以内（入口 压力大于出口压力）。

气体流量小于设定流量值

观察气体流量值小于设定流量值超过5%

出现此现象，是入口压力小于等于

出口压力所致

气体入口压力值要高于出口压力值（背压阀压力值），且出入口压差小于

0.5MPa。

当入口压力大于出口压力超过0.5MPa时，存在损坏气体质量流量控制器风险。在日常使用时，操作者需要特殊注意。

无气体流量或流量值小于设定流量20%以上

设定流量控制器50sccm，实际流量小于

40sccm。

检测入口压力值与出口压力值差在0.2-0.5MPa之间（入口压力高于出口压力）；

如出入口压力差在0.2-0.5MPa，流量仍低于设定流量值，气体流量计故障，请与技术工程师联系

检查入口球阀是否被打开

打开入口球阀

将入口压力调至0.2MPa，卸下反应柱，查看气体流量控制器是否正常。

当拆卸管路或单向阀后，再次装上，需要用捡漏液检测气路接头是否有漏气现象，如发现有漏气现象，请用附件箱的10-12呆扳手或活扳手将接头拧紧，拧紧后用捡漏液重复检测是否漏气。

如仍无流量，说明气体管路或气体单向阀堵塞，按从流量计到反应柱管路顺序，逐一判断堵塞为止，如单向阀堵塞，卸下单向阀，放入超声波清洗器中清洗5-10分钟，清洗完后，用洗耳球两边吹单向阀，检查单向阀是否起到单向作用。

检查无误后，冲洗装入系统管路中。同样方法，检查管路是否有堵塞现象。

气体流量急速降低或变为负值

使用过程中，发现气体流量值急速下降或变为负值。

此时迅速停泵，调大入口气体压力，大于出口压力值0.3-0.5MPa。

此时气路单向阀失效，需要迅速停泵，避免液体倒流到流量计中，造成流量计不可逆的损坏。

如出现液体进入流量控制器问题，需要设定气体流量为最大值，连续用气体冲流量计15-30分钟，检查流量控制器是否正常。如仍无明显改善，需要与技术工程师联系，说明情况。

为了安全，在用气体冲流量控制器时，请用氮气冲洗，避免氢气泄漏造成危险。