雅马拓YAMATO等离子清洗机V1000/V1000X/V1000XS
广州w66给利老牌科学仪器公司供应的雅马拓YAMATO等离子清洗机V1000/V1000X/V1000XS，13.56MHz高频输出的等离子清洗机，搭载RIE·DP 双模式。硅晶圆的灰化及蚀刻、基板表面污垢处理、半导体相关部品的电子材料的干式清洗、自然氧化膜·有机物去除、界面活性处理、表面污染物去除。
品牌: 雅马拓YAMATO
型号: V1000/V1000X/V1000XS
产品详情
雅马拓YAMATO等离子清洗机V1000/V1000X/V1000XS，13.56MHz 高频输出的等离子清洗机，搭载RIE·DP 双模式。
仪器特点：
硅晶圆的灰化及蚀刻。
基板表面污垢处理。
IC/LED封装、BGA/CSP基板处理。
半导体相关部品的电子材料的干式清洗。
自然氧化膜·有机物去除。
界面活性处理。
表面污染物去除。
技术参数：
型号 | V1000 | V1000X | V1000XS |
等离子模式 | DP/RIE | ||
高频电源 | 13.56MHz | ||
输出功率 | Max1000W | Max1000&1500W | |
有效电极尺寸 | W280xD280mm | W300xD300mm | W400xD375mm |
电极 | 平行平板 | 2段电极（独立） | 平板（多目的） |
反应气体 | 聚合控制器2系统（填充气路另行安装） | ||
真空泵（标配） | 约1000L/min | 约1500L/min | 1000&1500L/min |
安全装置 | 门检测开关、连锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等 | ||
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