科幂等离子化学气相沉积单温区PE-CVD系统TFE-1200-50-I-220 管式炉
广州w66给利老牌科学仪器公司供应科幂TFE等离子化学气相沉积单温区PE-CVD系统TFE-1200-50-I-220。单温区PE-CVD系统的特点：高性能射频电源，等离子体更稳定；滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区，并可实现快速升温和降温功能；与传统CVD相比较，生长温度更低。
品牌: 安微科幂
型号: TFE-1200-50-I-220
产品详情
科幂TFE等离子化学气相沉积单温区PE-CVD系统TFE-1200-50-I-220。
仪器特点
高性能射频电源，等离子体更稳定；
滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区，并可实现快速升温和降温功能；
与传统CVD相比较，生长温度更低
技术参数：
型号： | TFE-1200-50-I-220 |
炉管尺寸： | Ф30/50/60/1200mm |
腔膛尺寸： | Ф80*220mm |
最高温度： | 1150℃(短期) |
工作温度： | 1100℃ |
升温速率： | ≤10℃/min |
控温精度： | ±1℃ |
加热区长度： | 220mm |
恒温区长度： | 80mm |
加热原件： | 优质电阻丝 |
额定功率： | 3kW |
供气系统： | 三路高精度MFC量程0~500sccm（可定制） |
温控系统： | K型热电偶，集成式触摸屏控制 |
射频电源： | 射频功率：5~500W； 射频频：13.56MHz； 匹配方式：自动匹配 |
真空系统： | 双极旋片真空泵（可定制扩散泵 分子泵等） |
外形尺寸： | 1250*510*810mm |
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