紫外臭氧清洗机(UVO), 是一种简单，经济，快速高效的材料表面清洗设备，能快速去除大多数无机基材(比 如石英，硅片，金，镍，铝，砷化镓，氧化铝等)上的有机污染物。紫外臭氧清洗机采用 长寿命UV 石英低压汞蒸汽格栅灯，样品台高度可调，可选加热控温，以便达到最佳清洗效果。

通过紫外灯发出适当强度的185nm 和 2 5 4nm 波长高能紫外线破坏有物分子(污染物)。185nm 波长紫外光的光能 量能将空气中的氧气(O2) 分解成臭氧(O3), 而 2 5 4nm 波长的紫外光的光能量能将O3 分解成 O2 和原子氧(O),   254  nm 紫外线同时激发表面的有机物分子，提高其敏感性，可以被臭氧分子团破坏。在连续进行的光敏氧化反应中，生成的 活性原子氧(O) 与活化了的有机物(即碳氢化合物)分子发生氧化反应，生成挥发性气体(如CO2,CO,H2O,NO      等 ) 逸 出材料表面，从而清除粘附在材料表面上的碳和有机污染物，达到清洗的目的。

石英/玻璃制品的表面清洗：液晶面板，等离子电视屏幕，彩色过滤片，光罩，棱镜，透镜，反射镜，平板电视等。

微电子产品的表面清洗： 微型马达轴，磁头驱动架，光盘，光电器件，手机摄像头，微型喇叭/受话器震膜，半导体硅片，掩膜版。

精密集成电路的表面清洗： 液晶显示器ITO,精密电路板，软性电路板接头，BGA 基板的清洗，COG 的清洗，COF(ILB) 接合面的清洗，薄膜基板的清洗，金属基板的清洗，BGA 基板与粘结垫的清洗。

在胶粘接或是印刷之前，对高分子聚合制品的表面改性： 橡胶粘接，塑料汽车部件，透镜保护膜，塑料薄膜，树脂成型 空气袋，IC包装，注射针接合部分的表面性，介入导管的表面改型等。

科研过程的表面清洗及处理： 半导体，生物芯片，纳米材料，聚合物，光化学等。

UVO基础型系列采用可编程数字控制器，设置操作简单方便，四键操作控制。UVOP、UVOT系列采用5寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，设置显示计时时间及加热温度。

自动补偿功能，自动恒定光强光密度，不会因为低压汞灯老化光强衰减影响清洗效果。

数字倒计时显示清洗时间，1-999分钟之间可自行设置清洗时间。

任何时间可以手动中断处理过程。

自动记录之前清洗参数设置。

样品台可控温(可选),控温范围RT-200℃, 控温精度0.1℃。

顶置下压式铰链开关盖方式，操作简单方便。

上置式样品台设计，360度自由放置样品，操作方便。

样品台高度可调，通过调节灯与样品之间的间距，可以合理定位样品高度和位置，并可锁定。 ◆UV 石英低压汞蒸汽格栅灯，灯管寿命大约为8000 小时。

高强度UV 灯源，波长185nm 和 2 5 4nm。

可累计计时 UV 格栅灯使用时长，更换提示。

UV 反射罩(长X 宽 ) 比UV 格栅灯大25mm。

双重安全保护，带有安全锁，当清洗腔打开时，系统自动关掉 UV 灯，并有灯光通断提示。

带进&出气口双气路设计。

可接入氧气或者臭氧，增加臭氧产量。

UVO5可选外置臭氧中和器， UVO9、UVO13系列可选外置或者内置臭氧中和器，用于臭氧清除。

可根据客户要求定制铝或石英材料真空反应腔。

注： UVO 型基础型样品台不带加热功能，样品台高度可调；UVOP  可选配样品台加热功能，样品台高度可调；UVOT  标配样品台加热功能，样品台高度可调。可选臭氧中和装置。

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