CIF中试生产型等离子清洗机
广州w66给利老牌科学仪器公司供应的中试生产型等离子清洗机是为研发型客户和工业级客户而设计的等离子体表面处理设备。配置丰富,且真空腔体里可分层,适合大多数生产场景清洗,活化、刻蚀等应用。设备可在严苛环境下稳定运行,产品性能稳定,样品处理重复性、一致性好。
品牌: CIF赛福
型号: CPC15/CPC35/CPC80/CPC120/CPC150
中试生产型等离子清洗机是为研发型客户和工业级客户而设计的等离子体表面处理设备。配置丰富,且真空腔体里可分层,适合大多数生产场景清洗,活化、刻蚀等应用。设备可在严苛环境下稳定运行,产品性能稳定,样品处理重复性、一致性好。
7寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,自动监测工艺参数状态,20个配方程序,可存储、输出、追溯工艺数据。
PLC 工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。
采用质量流量计,气体流量控制更准确。标配双路气体输送系统,可选多气路气体输送系统。可输入氧气、氩气、氮气、四氟化碳、氢气或混合气体等气体。
采用多孔道进气方式,改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。
HEPA 高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。
316不锈钢真空舱,洁净无污染。
全真空管路系统采用316不锈钢材质。
处理高效均匀,效率高,工艺重复性好。
合理的结构设计,设备占用空间小。
可处理各种材质、形状、尺寸样品。
样品处理温度低,无热损伤和热氧化。
使用成本低、耗损小。
产品性能稳定,安装维护,简单方便。
安全保护,舱门打开,自动关闭电源。
机器运行、停止提示。
型号 | CPC15 | CPC35 | CPC80 | CPC120 | CPC150 |
舱体尺寸 | W240xH240 xD260mm | W320xH320 xD350mm | W420xH400 xD500mm | W500xH500 xD450mm | W500xH500 XD600mm |
舱体容积 | 15L | 35L | 80L | 120L | 150L |
舱体材质 | 不锈钢 | 不锈钢 | 不锈钢 | 不锈钢 | 不锈钢 |
有效尺寸 | W240xD230mm | W320xD323mm | W420xD468mm | W500xxD420mm | W500xxD565mm |
电极分布 | 2层 | 3-4层 | 6层 | 8-10层 | 10-15层 |
射频电源 | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz |
射频功率 | 0-300W | 0-300W | 0-600W | 0-1000W | 0-1000W |
匹配器 | 自动匹配器 | ||||
激发方式 | 电容式 | ||||
电流 | 1.2A | ||||
时间设定 | 9999秒 | ||||
气体稳定 时间 | 1分钟 | ||||
真空度 | 100pa以内 | ||||
控制系统 | 7寸PLC触摸屏控制 | ||||
工艺气体 | 2气路MFC(可选装3路) | ||||
产品尺寸 | L625xW600 xH760mm | L625xW600 xH805mm | L905xW845 xH1940mm | L625xW600 XH760mm | L905xW845 xH2010mm |
包装尺寸 | L740xW775 xH1000mm | L740xW775 xH1045mm | L1015xW1065 xH2050mm | L1015xW1065 xH2120mm | L1015xW1065 xH2120mm |
真空泵 | 抽速约8m³/h | 抽速16m³/h | 抽速40m³/h | 抽速60m³/h | 抽速约60m³/h |
电源 | AC220V 50/60Hz 552W | AC220V 50/60Hz 552W | AC380V 50/60Hz 902W | AC380V 50/60Hz 1302W | AC380V 50/60Hz1302W |
整机重量 | 108kg | 135kg | 465kg | 485kg | 575kg |
备注:根据用户要求,可选中频电源40KHz, 功率300-2000W 可选。
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