实验室型等离子清洗机，属于科研型等离子清洗设备，合理的结构设计，优化的腔体尺寸，使得处理样品更大，适用范围更广。 产品性能稳定，操作简单方便，易维护。

等离子体是一种中性、高能量、离子化的气体。其中包括中性原子或分子、电子、活性基因、激发态的核素、光子等。 等离子体是不同于固体、液体和气体的物质第四态，它由离子、电子以及未电离的中性粒子的集合组成，整体呈中性的物

质状态。

等离子清洗机就是在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子 体轰击被清洗材料表面，改变材料表面性质，优化材料表面性能，从而实现清洁、改性等目的。

等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、线 路 板 、LED、 微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用 于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。

7寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，自动控制监测工 艺参数状态，20个配方程序，工艺数据可存储追溯。

PLC控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。

用美国德威尔 (Dwyer) 气体浮子流量计或质量流量计  (CPC-FM), 可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体， 气体控制精准。

气体返填吹扫， HEPA 高效过滤，防止二次污染。

316不锈钢、石英真空舱可选择，全真空管路系统采用316不锈钢材质，耐腐蚀无污染。

采用60度倾角操作面板设计，符合人体功能学，操作方 便，界面友好。

上控制下舱体结构设计，结构紧凑，占地空间小。

内凹式前面板设计，有效保护流量计和舱门不易损坏。

处理快速高效均匀，无污染，工艺重复性好。

样品处理温度低，无热损伤和热氧化。

安全保护，舱门打开，自动关闭电源。

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