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实验室型等离子清洗机CPC-G

CIF实验室等离子清洗机CPC-G/CPC-10


广州w66给利老牌科学仪器公司供应的实验室型等离子清洗机,具有较大的腔体尺寸和有效样品处理面积,使用成本低,性价比高,处理快速高效,特别适合于大学,科研院所和光电企业实验室小批量中试生产。


品牌: CIF赛福

型号: CPC-G/CPC-10

产品详情
实验室等离子清洗机

实验室型等离子清洗机,具有较大的腔体尺寸和有效样品处理面积,使用成本低,性价比高,处理快速高效,特别适合于大学,科研院所和光电企业实验室小批量中试生产。



特点:

7寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,自动控制监测工艺参数状态,20个配方程序,工艺数据可存储追溯。

PLC工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。

石英真空舱,真空管路系统采用316不锈钢材质,耐腐蚀无污染。

采用质量流量计,实现对气体输入精准控制,改变传统浮子流量计控制气体流量不准确问题。

HEPA 高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。

60度倾角操作界面设计,符合人体功能学,操作方便,界面友好。

顶置真空舱,上开盖设计,下压式铰链开关方式,开关盖方便。

采用花洒式多孔进气方式,改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。

上置式360度自由水平取放样品托盘设计,符合人体功能学,操作更方便。

有效清洗面积大,可清洗最大直径8时硅片。

安全保护,舱门打开,自动关闭电源。



技术参数:

型号

CPC-10

CPC-10plus

CPC-10M

CPC-10Mplus

CPC-G

CPC-Gplus

射频电源

40KHZ

13.56MHz

40KHz

13.56MHz

40KHz

13.56MHz

射频功率

0-600W

0-300W

0-600W

0-300W

0-600W

0-150W

匹配器

自动匹配

自动匹配

自动匹配

激发方式

电容式

电容式

电容式

气体控制

双浮子流量计

单路MFC(可选两路)

单路MFC(可选两路)

舱体尺寸

L300x中215mm

L300xφ215mm

H100x中269mm

舱体容积

10.8L

10.8L

5.6L

舱体材质

不锈钢

不锈钢

石英玻璃

有效处理尺寸

L300xW215mm

L300xW215mm

φ269mm圆盘

时间设定

9999秒

9999秒

9999秒

真空泵

抽速8m³/h

抽速8m³/h

抽速4m³/h

气体稳定时间

1分钟

1分钟

1分钟

真空度

100pa以内

100pa以内

100pa以内

AC220V 50/60Hz 766/466W

AC220V 50/60Hz 752/452W

AC220V 50/60Hz 752/302W

产品尺寸

L645xW550xH495mm

L645xW550xH495mm

L425xW480xH445mm

包装尺寸

L750xW700xH720mm

L750xW700xH720mm

L550xW630xH700mm

整机重量

55kg

55kg

30kg

 

 

实验室型等离子清洗机信息由广州w66给利老牌科学仪器有限公司为您提供,如您想了解更多关于等离子清洗机的信息,欢迎来电咨询。

 



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