CIF实验室等离子清洗机CPC-G/CPC-10
广州w66给利老牌科学仪器公司供应的实验室型等离子清洗机,具有较大的腔体尺寸和有效样品处理面积,使用成本低,性价比高,处理快速高效,特别适合于大学,科研院所和光电企业实验室小批量中试生产。
品牌: CIF赛福
型号: CPC-G/CPC-10
实验室型等离子清洗机,具有较大的腔体尺寸和有效样品处理面积,使用成本低,性价比高,处理快速高效,特别适合于大学,科研院所和光电企业实验室小批量中试生产。
7寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,自动控制监测工艺参数状态,20个配方程序,工艺数据可存储追溯。
PLC工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。
石英真空舱,真空管路系统采用316不锈钢材质,耐腐蚀无污染。
采用质量流量计,实现对气体输入精准控制,改变传统浮子流量计控制气体流量不准确问题。
HEPA 高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。
60度倾角操作界面设计,符合人体功能学,操作方便,界面友好。
顶置真空舱,上开盖设计,下压式铰链开关方式,开关盖方便。
采用花洒式多孔进气方式,改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。
上置式360度自由水平取放样品托盘设计,符合人体功能学,操作更方便。
有效清洗面积大,可清洗最大直径8时硅片。
安全保护,舱门打开,自动关闭电源。
型号 | CPC-10 | CPC-10plus | CPC-10M | CPC-10Mplus | CPC-G | CPC-Gplus |
射频电源 | 40KHZ | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz |
射频功率 | 0-600W | 0-300W | 0-600W | 0-300W | 0-600W | 0-150W |
匹配器 | 自动匹配 | 自动匹配 | 自动匹配 | |||
激发方式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | |||
气体控制 | 双浮子流量计 | 单路MFC(可选两路) | 单路MFC(可选两路) | |||
舱体尺寸 | L300x中215mm | L300xφ215mm | H100x中269mm | |||
舱体容积 | 10.8L | 10.8L | 5.6L | |||
舱体材质 | 不锈钢 | 不锈钢 | 石英玻璃 | |||
有效处理尺寸 | L300xW215mm | L300xW215mm | φ269mm圆盘 | |||
时间设定 | 9999秒 | 9999秒 | 9999秒 | |||
真空泵 | 抽速8m³/h | 抽速8m³/h | 抽速4m³/h | |||
气体稳定时间 | 1分钟 | 1分钟 | 1分钟 | |||
真空度 | 100pa以内 | 100pa以内 | 100pa以内 | |||
电 源 | AC220V 50/60Hz 766/466W | AC220V 50/60Hz 752/452W | AC220V 50/60Hz 752/302W | |||
产品尺寸 | L645xW550xH495mm | L645xW550xH495mm | L425xW480xH445mm | |||
包装尺寸 | L750xW700xH720mm | L750xW700xH720mm | L550xW630xH700mm | |||
整机重量 | 55kg | 55kg | 30kg |
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